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 半导体装备控制系统开发平台

 
   
 

中国科学院沈阳自动化研究所开发的集束式半导体装备控制系统平台,提供了一种平台化的软件系统,用以满足半导体装备的工艺控制、物料传输的要求。平台采用模块化的开发方法,可根据需求提供开放化、可定制的开发,满足多种类型的不同的半导体装备的需求。

网络分布式结构

CTC/PMC/TMC/CMC模块化控制

SEMI SECS/GEM和SEMI 300mm标准支持

基于XML的开放接口,高度可定制化

多加工单元的优化调度,提高产能

可扩展的报警、事件记录功能

参数级的软件仿真

支持无工艺处理的机械流程(Mechanical Dry Run)

支持多种I/O方式,用户可扩展(DeviceNet、RS232/485、Direct I/O等)

 

 
   
   
   
   
   
     
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